高低温真空探针台

产品概述

高低温真空探针台，能够为测试样品提供高真空和极端高温/低温的测试环境，非常适合各种半导体材料、芯片和电子元器件的无损测试，应用方向有：真空&极端温度条件下的芯片/MEMS/NEMS测试；宽温区材料或器件的IV/CV特性测试；LD/LED/PD测试；光谱特性测试；霍尔效应测量；可变磁场环境中电磁输运特性测试；微波射频测试；瞬态光电流响应测试；拉曼-瞬态荧光寿命成像；电-光效应测试；超导测试试验等。

产品特点

• 高真空度，真空度优于5×10-4 Pa (约4×10-6 Torr)
  
• 高精度温控系统，自动冷媒流量控制，4.5 K / 77.4 K -675 K温度区间内准确控制样品台温度
  
• 防辐射屏设计，保证样品温度均匀
  
• 兼容高倍率金相显微镜
  
• 采用液氮或氦气压缩机制冷
  
• 可选配开尔文探针，更低的漏电精度
  
• 可升级光学、光电流测试、光学接入等
  
• 可定制加载磁场的真空探针台。