高端探针台

产品概述

高端探针台，是一款高配多功能、综合型手动探针台，样品台移动控制采用气浮式平台结构，可以拖动样品台进行快速移动并定位样品，独具特点的FlyTest模块化设计，可搭配不同变倍比显微镜，集合了手动探针台诸多较新的创新技术，是敏测科技的一款诚意代表之作。该设备扩展升级功能强，可根据客户的新测试需求，重新改变或升级配置，很适合高校、研究机构、企业研发中心实验室的一步到位多用途需求。

产品特点

• 显微镜底座采用龙门结构，刚性好，保证高质量光学成像
  
• 金相显微镜气动升降调节，方便快速更换物镜或探针卡夹具、针卡
  
• 大行程气浮式移动样品台，实现样品测试位置快速定位
  
• 卡盘可360°旋转及小角度微调
  
• 针座平台三段式不连续升降设计，分别用于探针接触、探针分离、晶圆取放或装载
  
• 平移台精密丝杆传动结构，无回程差设计，定位精准
  
• 可集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统
  
• 可集成积分球，进行光电测试
  
• 可选配高低温测试卡盘
  
• 台体底板隔振基座设计，有效吸收因环境引起的桌面振动，保证测试探针跟PAD电极稳定接触
  
• FlyTest模块化设计，可随时扩展升级。
  

应用方向

晶圆/微型机电系统（MEMS）/ LED / LD / PD/ 叉指电极的电学性能测试、组件特性描述和建模、材料或器件的IV/CV特性测试、封装器件/PCB板测试、射频测试、高频/低频测试、高功率（HP）测试、失效分析（FA）、LED / OLED /LCD面板行业分析等。